安徽恒坤新材料科技申请含芴基结构聚合物等相关专利 使得所形成的硬掩膜具有良好的平坦化特征

  行业动态     |      2025-08-09 14:18

  

安徽恒坤新材料科技申请含芴基结构聚合物等相关专利 使得所形成的硬掩膜具有良好的平坦化特征

  金融界2025年8月8日消息,国家知识产权局信息显示,安徽恒坤新材料科技有限公司申请一项名为“含芴基结构聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物与应用”的专利,公开号CN120441788A,申请日期为2025年05月。

  火星电竞平台安全保障

  专利摘要显示,本发明属于光刻领域,具体涉及一种含芴基结构聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物与应用。所述含芴基结构聚合物具有如式(1)所示结构。所述硬掩膜组合物含有所述含芴基结构聚合物、有机溶剂Ⅱ以及任选的交联剂、催化剂、表面活性剂。本发明设计并合成了一种具有特定结构的含芴基结构聚合物,从而赋予含有该聚合物的硬掩膜组合物良好的溶解性、耐刻蚀性和热稳定性能,使得所形成的硬掩膜具有良好的平坦化特征和间隙填充特征,并且该硬掩膜在转印光刻图案过程中能保持良好的热稳定性以及表现出高耐刻蚀性,确保光刻图案保真且有效地转印到目标基底材料层上。

  天眼查资料显示,安徽恒坤新材料科技有限公司,成立于2020年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽恒坤新材料科技有限公司参与招投标项目53次,专利信息6条,此外企业还拥有行政许可15个。