金融界2025年5月5日消息，国家知识产权局信息显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司申请一项名为“一种蚀刻组合物及其用途”的专利，公开号CN119913513A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本发明提供了一种蚀刻组合物，包括水，有机溶剂，表面活性剂和酸。采用上述技术方案后，可以实现对Co的可调节蚀刻，使其蚀刻速率可调节，以配合不同的生产需求；同时与TiN、Ti、SiO2、SiN等材料具有较好的相容性，且工艺操作窗口大，具有广阔的应用前景。
天眼查资料显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司，成立于2006年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12921.3274万人民币。通过天眼查大数据分析，安集微电子科技（上海）股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目29次，专利信息226条，此外企业还拥有行政许可86个。
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